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Instruments Center / Mask Aligner
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貴儀名稱 |
微影曝光系統 Mask Aligner |
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儀器說明 |
儀器購置年月：92 年 4 月 廠牌及型號 ：Karl Suss 重 要 規 格 ：1um解析度、接觸式或近接式曝光、2.5吋晶圓尺寸 |
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保管人 |
施明昌老師 |
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服務項目 |
微影光阻曝光 |
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貴儀圖片 |
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