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貴儀專區 / 微影曝光系統

 

貴儀名稱

微影曝光系統

Mask Aligner

儀器說明

 儀器購置年月：92 年 4 月
廠牌及型號 ：Karl Suss
重 要 規 格 ：1um解析度、接觸式或近接式曝光、2.5 吋晶圓尺寸

保管人

施明昌老師

服務項目

微影光阻曝光

貴儀圖片

行事曆

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