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貴儀專區
/ 微影曝光系統
貴儀名稱
微影曝光系統
Mask Aligner
儀器說明
儀器購置年月:
92
年
4
月
廠牌及型號
:
Karl Suss
重
要
規
格
:
1um
解析度、接觸式或近接式曝光、
2.5
吋晶圓尺寸
保管人
施明昌老師
服務項目
微影光阻曝光
貴儀圖片
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標準版RSs 2.x套裝
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