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Instruments Center / Scanning Electron Microscope

  

貴儀名稱

電子顯微鏡實驗室

Scanning Electron Microscope

儀器說明

儀器購置年月:92 5
廠牌及型號 :日本 HITACHI, S-4300N
    :電子光源:冷陰極場發射電子槍;加速電壓:
0.5~30kv;放大倍率:20~50萬倍;解析度:1.5nm at 15kV5.0nm at 1kV
主要附件:EDSHORIBA EMAX-ENERGY

保管人

施明昌老師

服務項目

SEM:半導體金屬材料元件表面與立體結構之觀察及照相。

EDS:原子序5~92之元素全能譜定性、半定量、mappingline profile

(材料如不適合本機台,無法提供服務)

貴儀圖片

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