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期刊論文
出版日期2006-12-00
期刊等級SCI / EI
論文名稱(篇名)Effect of Silicon Thickness on Contact-Etch-Stop-Layer-Induced Silicon/Buried-Oxide Interface Stress for Partially Depleted SOI
期刊名IEEE Electron Device Letters
卷數27
期數12
起頁963
迄頁965
總頁數3
作者中文名葉文冠
作者英文名Wen-Kuan Yeh
全部作者Chien-Ting Lin, Yean-Kuen Fang, Wen-Kuan Yeh, Tung-Hsing Lee, Ming-Shing Chen, Che-Hua Hsu, Liang-Wei Chen, Li-Wei Cheng, and Mike Ma
著作人數9
作者型態Corresponding Author
使用語言英文

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