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期刊論文
出版日期2006-11-00
期刊等級SCI
論文名稱(篇名)The Geometry Effect of Contact Etch Stop Layer Impact on Device Performance and Reliability for 90-nm SOI nMOSFETs
期刊名IEEE Transactions on Electron Devices
卷數53
期數11
起頁2779
迄頁2785
總頁數7
作者中文名葉文冠
作者英文名Wen-Kuan Yeh
全部作者Chieh-Ming Lai, Yean-Kuen Fang, Chien-Ting Lin, and Wen-Kuan Yeh
著作人數4
作者型態Corresponding Author
使用語言英文

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