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期刊論文
出版日期2010-08-00
期刊等級SCI / EI
論文名稱(篇名)External Stresses on Tensile and Compressive Contact Etching Stop Layer SOI MOSFETs
期刊名IEEE Transactions on Electron Devices
卷數57
期數8
起頁1889
迄頁1894
總頁數6
作者中文名葉文冠
作者英文名Wen-Kuan Yeh
全部作者Wen-Teng Chang,Chih-Chung Wang(王治忠),Jian-An Lin(林建安),and Wen-Kuan Yeh
著作人數4
作者型態Corresponding Author
參考網址http://ieeexplore.ieee.org/search/freesrchabstract.jsp?tp=&arnumber=5497124&queryText%3DExternal+Stresses+on+Tensile+and+Compressive+Contact+Etching+Stop+Layer+SOI+MOSFETs%26openedRefinements%3D*%26searchField%3DSearch+All
使用語言英文

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