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期刊論文
出版日期2010-08-00
期刊等級SCI
論文名稱(篇名)External Stresses on Tensile and Compressive Contact Etching Stop Layer SOI MOSFETs
期刊名IEEE Transactions on Electron Devices
卷數Vol.57
期數No.8
起頁1889
迄頁1894
總頁數6
作者中文名張文騰
作者英文名Wen-Teng Chang
全部作者Wen-Teng Chang, Chih-Chung Wang, Jian-An Lin, Wen-Kuan Yeh
著作人數4
作者型態First Author / Corresponding Author
ISSN(ISBN)0018-9383
參考網址http://ieeexplore.ieee.org/Xplore/login.jsp?url=http%3A%2F%2Fieeexplore.ieee.org%2Fiel5%2F16%2F5518459%2F05497124.pdf%3Farnumber%3D5497124&authDecision=-203
使用語言英文
所屬計畫案利用電晶體及環形振盪器製作壓阻感測器

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