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期刊論文
出版日期2011-03-10
期刊等級SCI
論文名稱(篇名)Clamping Losses of Folded- and Straight-Beam MEMS Resonators Made from Polycrystalline 3C-SiC Films
期刊名International Journal of Modern Physics B
卷數25
期數6
起頁885
迄頁896
總頁數12
作者中文名張文騰
作者英文名Wen-Teng Chang
全部作者Wen-Teng Chang
著作人數1
作者型態First Author / Corresponding Author
ISSN(ISBN)0217-9792
使用語言英文

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