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| 出版日期 | 2009-04-07 |
|---|---|
| 期刊等級 | SCI |
| 論文名稱(篇名) | Grain size control of (111) polycrystalline 3C-SiC films by doping used as folded-beam MEMS resonators for energy dissipation |
| 期刊名 | Microsystem Technologies |
| 卷數 | Vol.15 |
| 期數 | No.6 |
| 起頁 | 875 |
| 迄頁 | 880 |
| 總頁數 | 6 |
| 作者中文名 | 張文騰 |
| 作者英文名 | Wen-Teng Chang |
| 全部作者 | Wenteng Chang, Christian Zorman |
| 著作人數 | 2 |
| 作者型態 | First Author / Corresponding Author |
| ISSN(ISBN) | 1432-1858 |
| 參考網址 | http://www.springerlink.com/content/40k5t3073r7n4826/ |
| 使用語言 | 英文 |
