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期刊論文
出版日期2009-04-07
期刊等級SCI
論文名稱(篇名)Grain size control of (111) polycrystalline 3C-SiC films by doping used as folded-beam MEMS resonators for energy dissipation
期刊名Microsystem Technologies
卷數Vol.15
期數No.6
起頁875
迄頁880
總頁數6
作者中文名張文騰
作者英文名Wen-Teng Chang
全部作者Wenteng Chang, Christian Zorman
著作人數2
作者型態First Author / Corresponding Author
ISSN(ISBN)1432-1858
參考網址http://www.springerlink.com/content/40k5t3073r7n4826/
使用語言英文

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