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| 年度 | 2006 |
|---|---|
| 論文類型 | 其他 |
| 論文等級 | 其他 |
| 論文名稱(篇名) | A New concept for Particle removes in Wet Bench Cleaning |
| 會議名稱 | IEEE Proceedings of IPFA |
| 作者中文名 | 葉文冠 |
| 作者英文名 | Wen-Kuan Yeh |
| 全部作者 | Sheng Hsiung Chen, Wen-Kuan Yeh |
| 著作人數 | 2 |
| 作者型態 | Corresponding Author |
| 會議地點 | Singapore |
| 使用語言 | 英文 |
