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研討會論文
年度2013
論文類型口頭報告 / 會議論文
論文等級其他
論文名稱(篇名)Reliability of Doping Concentration in Ultra-Thin-Body and Buried Oxide Silicon on Insulator
會議名稱International Electron Devices and Materials Symposium (IEDMS)
會議開始時間2013-11-28
會議結束時間2013-11-29
作者中文名張文騰
作者英文名Wen-Teng Chang
全部作者Wen-Teng Chang, Chun-Ming Lai, and Wen-Kuan Yeh
著作人數3
作者型態First Author / Corresponding Author
會議地點南投

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