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研討會論文
年度2016
論文類型口頭報告 / 會議論文 / 受邀演講
論文等級其他
論文名稱(篇名)Demonstration of Lift-off Si-Nanomembrane by Using HF-Etchant Mixed in supercritical CO2
會議名稱The 11th National Symposium on Supercritical Fluids
會議開始時間2016-11-04
會議結束時間2016-11-06
作者中文名馮瑞陽
作者英文名(David) Jui-Yang, Feng
全部作者Tai-Chun Liao (廖泰鈞), Heng Kuo (郭橫), Te-Hui Wang (王德輝), Wen-Ling Lee (李玟伶), Wen-How Lan, Yi-Jen Chiu, Yung-Jr Hung and David Jui-Yang Feng*
著作人數8
作者型態Corresponding Author
會議地點廈門, 中國
主辦單位廈門大學
使用語言英文

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