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研討會論文
年度2017
論文類型口頭報告 / 會議論文
論文等級其他
論文名稱(篇名)Developing high corrosion-resistance system for operating HF-etchant mixed in supercritical CO2 to apply in lift-off Si-nanomembrane
會議名稱Supergreen 2017, the 10th International Conference on Supercritical Fluids
會議開始時間2017-12-01
會議結束時間2017-12-03
作者中文名馮瑞陽
作者英文名(David) Jui-Yang, Feng
全部作者David Jui-Yang Feng*, Te-Hui Wang, Wen-Ling Lee (李玟怜), Tai-Chun Liao, Heng Kuo, Wen-How Lan, Yung-Jr Hung and Yi-Jen Chiu
著作人數8
作者型態First Author / Corresponding Author
會議地點Nagoya, Japan
使用語言英文

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