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研討會論文
年度2007
論文類型會議論文 / 其他
論文等級其他
論文名稱(篇名)Energy Dissipation in Folded-Beam MEMS Resonators Made from Single Crystal and Polycrystalline 3C-SiC Films
會議名稱Proceedings of the 2nd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
會議開始時間2007-01-16
會議結束時間2007-01-19
作者中文名張文騰
作者英文名Wen-Teng Chang
全部作者Wen-Teng Chang, Mehran Mehregany and Christian A. Zorman
著作人數3
作者型態First Author
會議地點Bangkok, Thailand
使用語言英文
備註, 740–744.

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