貴儀專區/微影曝光系統
貴儀專區/微影曝光系統
貴儀名稱
微影曝光系統
Mask Aligner
儀器說明
儀器購置年月：92 年 4 月
廠牌及型號 ：Karl Suss
重 要 規 格 ：1um解析度、接觸式或近接式曝光、2.5 吋晶圓尺寸
保管人
施明昌老師
服務項目
微影光阻曝光
貴儀圖片
