貴儀名稱

膜厚掃瞄機    Surface Profiler

儀器說明

1.   儀器購置年月：92 年 4 月

2.   廠牌及型號 ：Tencor Alpha Step 500

3.   重 要 規 格 ：Scan Length 10mm~2mm

4.   Sample Rate 500、100 or 200Hz

保管人

施明昌老師

服務項目

半導體元件薄膜厚度及表面輪廓量測

貴儀圖片