"Low-Leakage Tetragonal ZrO2 (EOT < 1 nm) With In Situ Plasma Interfacial Passivation on Germanium" , IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS , 37 , 2 , pp138-141 ,2016, (SCI)

  • 出版日期：2016-02-00
  • 期刊等級：SCI
  • 論文名稱(篇名)：Low-Leakage Tetragonal ZrO2 (EOT < 1 nm) With In Situ Plasma Interfacial Passivation on Germanium
  • 期刊名：IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS
  • 卷數：37
  • 期數：2
  • 起頁：138
  • 迄頁：141
  • 總頁數：4
  • 作者中文名：葉文冠
  • 作者英文名：Wen-Kuan Yeh
  • 全部作者：Chen-Han Chou, Hao-hsuan Chang, Chung-Chun Hsu, Wen-Kuan Yeh, and Chao-Hsin Chien
  • 著作人數：5
  • 作者型態：Other