UV Pulse Laser Deposition of AlN Thin Films on Si and its Electro-optic Characteristics
- 年度：2011
- 論文類型：海報展示
- 論文等級：其他
- 論文名稱(篇名)：Microscopic Thin Film Surface Profiling by using a Michelson Interferometer
- 會議名稱：ICMAT 2011 International Conference on Materials for Advanced Technologies
- 會議開始時間：2011-06-26
- 會議結束時間：2011-07-01
- 作者中文名：施明昌
- 作者英文名：Ming-Chang Shih
- 全部作者：Ming Chang Shih *, C. S. Chen(陳正森), Y. C. Sun(孫有慶), U. Y. Lin(林裕堯), J. H. Hong, and W. H. Lan
- 著作人數：6
- 作者型態：First Author
- 會議地點：Singapore
- 使用語言：English
