"External Stresses on Tensile and Compressive Contact Etching Stop Layer SOI MOSFETs" , IEEE Transactions on Electron Devices , 57 , 8 , pp1889-1894 ,2010, (SCI),(EI)

  • 出版日期：2010-08-00
  • 期刊等級：SCI / EI
  • 論文名稱(篇名)：External Stresses on Tensile and Compressive Contact Etching Stop Layer SOI MOSFETs
  • 期刊名：IEEE Transactions on Electron Devices
  • 卷數：57
  • 期數：8
  • 起頁：1889
  • 迄頁：1894
  • 總頁數：6
  • 作者中文名：葉文冠
  • 作者英文名：Wen-Kuan Yeh
  • 全部作者：Wen-Teng Chang,Chih-Chung Wang(王治忠),Jian-An Lin(林建安),and Wen-Kuan Yeh
  • 著作人數：4
  • 作者型態：Corresponding Author
  • 參考網址：http://ieeexplore.ieee.org/search/freesrchabstract.jsp?tp=&arnumber=5497124&queryText%3DExternal+Stresses+on+Tensile+and+Compressive+Contact+Etching+Stop+Layer+SOI+MOSFETs%26openedRefinements%3D*%26searchField%3DSearch+All
  • 使用語言：英文