"Effect of Nitrogen Incorporation in a Gd Cap Layer on the Reliability of Deep-Submicrometer Hf-Based High-k/Metal-Gate nMOSFETs" , IEEE Electron Device Letters , 30 , 7 , pp781-783 ,2009, (SCI),(EI)

  • 出版日期：2009-07-00
  • 期刊等級：SCI / EI
  • 論文名稱(篇名)：Effect of Nitrogen Incorporation in a Gd Cap Layer on the Reliability of Deep-Submicrometer Hf-Based High-k/Metal-Gate nMOSFETs
  • 期刊名：IEEE Electron Device Letters
  • 卷數：30
  • 期數：1
  • 起頁：781
  • 迄頁：783
  • 總頁數：3
  • 作者中文名：葉文冠
  • 作者英文名：Wen-Kuan Yeh
  • 全部作者：Chia-Wei Hsu, Yean-Kuen Fang, Wen-Kuan Yeh, Chun-Yu Chen, Chien-Ting Lin, Che-Hua Hsu, Li-Wei Cheng, and Chien-Ming Lai
  • 著作人數：8
  • 作者型態：Corresponding Author
  • 使用語言：英文