"The Geometry Effect of Contact Etch Stop Layer Impact on Device Performance and Reliability for 90-nm SOI nMOSFETs" , IEEE Transactions on Electron Devices , 53 , 11 , pp2779-2785 ,2006, (SCI)

  • 出版日期：2006-11-00
  • 期刊等級：SCI
  • 論文名稱(篇名)：The Geometry Effect of Contact Etch Stop Layer Impact on Device Performance and Reliability for 90-nm SOI nMOSFETs
  • 期刊名：IEEE Transactions on Electron Devices
  • 卷數：53
  • 期數：11
  • 起頁：2779
  • 迄頁：2785
  • 總頁數：7
  • 作者中文名：葉文冠
  • 作者英文名：Wen-Kuan Yeh
  • 全部作者：Chieh-Ming Lai, Yean-Kuen Fang, Chien-Ting Lin, and Wen-Kuan Yeh
  • 著作人數：4
  • 作者型態：Corresponding Author
  • 使用語言：英文