Electrical properties of DC sputtering AlN/Si capacitors with different substrate temperatures

  • 年度：2006
  • 論文類型：其他
  • 論文等級：其他
  • 論文名稱(篇名)：Electrical properties of DC sputtering AlN/Si capacitors with different substrate temperatures
  • 會議名稱：International Conference on Microelectronics and Interfaces（AVS ICMI’2006）
  • 會議開始時間：2006-03-07
  • 會議結束時間：2006-03-09
  • 作者中文名：施明昌
  • 作者英文名：Ming-Chang Shih
  • 全部作者：Ru-Yuan Yang, Han-Ding Hsueh, Yan-Kuin Su, Min-Hang Weng and Ming-Chang Shih
  • 著作人數：5
  • 作者型態：Corresponding Author
  • 會議地點：Austin, Texas, U.S.A.
  • 使用語言：English