Aln Thin Film Deposition by 248 nm Pulse Laser at Low Substrate Temperature

  • 年度：2005
  • 論文類型：其他
  • 論文等級：其他
  • 論文名稱(篇名)：Aln Thin Film Deposition by 248 nm Pulse Laser at Low Substrate Temperature
  • 會議名稱：2005台灣光電科技研討會（OPT2005）
  • 會議開始時間：2005-12-08
  • 會議結束時間：2005-12-09
  • 作者中文名：施明昌
  • 作者英文名：Ming-Chang Shih
  • 全部作者：M. C. Shih, Chi-Wei Liang, and W.H. Lan
  • 著作人數：3
  • 作者型態：First Author
  • 會議地點：Taiwan
  • 使用語言：English