"Effects of Annealing Temperatures on Ge HfZrOx MOS Capacitors",Symposium on Nano Device Technology (SNDT 2017),新竹奈米電子研究大樓 國際會議廳,2017/04/28

  • 年度：2017
  • 論文類型：其他
  • 論文等級：其他
  • 論文名稱(篇名)：Effects of Annealing Temperatures on Ge HfZrOx MOS Capacitors
  • 會議名稱：Symposium on Nano Device Technology (SNDT 2017)
  • 會議開始時間：2017-04-28
  • 會議結束時間：2017-04-28
  • 作者中文名：葉文冠
  • 作者英文名：Wen-Kuan Yeh
  • 全部作者：Yo-Chih Tsou, Chun-Jung Su, Yao-Jen Lee, Fu-Ju Hou, Po-Jung Sung, Chih-Jen Wang, Cheng-Yen Hsieh, Yin-Tseng Tang, Wen-Fa Wu, Wen-Kuan Yeh, and Yeong-Her Wang
  • 著作人數：11
  • 作者型態：Other
  • 會議地點：新竹奈米電子研究大樓 國際會議廳