先進低溫製程之高性能高介電質/金屬閘極元件之技術開發與可靠性分析(I)

  • 計畫類別˙：研究計畫
  • 年度：100
  • 計畫名稱：先進低溫製程之高性能高介電質/金屬閘極元件之技術開發與可靠性分析(I)
  • 計畫時間：2011年 ~ 2012年
  • 參予人：葉文冠
  • 擔任工作：主持人
  • 補助/委託機構：國科會
  • 備註：國科會研究計劃案(nsc100-2221-E-390-004)