Print - W. T. Chang,"Modeling of Feedthrough Capacitance for MEMS Folded-Beam Silicon Carbide Resonators", IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits,Tainan, Taiwan,2007/12/20-2007/12/22 (EI)

W. T. Chang,"Modeling of Feedthrough Capacitance for MEMS Folded-Beam Silicon Carbide Resonators", IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits,Tainan, Taiwan,2007/12/20-2007/12/22 (EI)

年度 2007
論文類型會議論文 / 其他
論文等級 EI
論文名稱(篇名) Modeling of Feedthrough Capacitance for MEMS Folded-Beam Silicon Carbide Resonators
會議名稱 IEEE International Conference on Electron Devices and Solid-State Circuits
會議開始時間 2007-12-20
會議結束時間 2007-12-22
作者中文名張文騰
作者英文名 Wen-Teng Chang
全部作者 W. T. Chang
著作人數 1
作者型態 First Author
會議地點 Tainan, Taiwan
使用語言英文