"Developing high corrosion-resistance system for operating HF-etchant mixed in supercritical CO2 to apply in lift-off Si-nanomembrane"

  • 年度：2017
  • 論文類型：口頭報告 / 會議論文
  • 論文等級：其他
  • 論文名稱(篇名)：Developing high corrosion-resistance system for operating HF-etchant mixed in supercritical CO2 to apply in lift-off Si-nanomembrane
  • 會議名稱：Supergreen 2017, the 10th International Conference on Supercritical Fluids
  • 會議開始時間：2017-12-01
  • 會議結束時間：2017-12-03
  • 作者中文名：馮瑞陽
  • 作者英文名：(David) Jui-Yang, Feng
  • 全部作者：David Jui-Yang Feng*, Te-Hui Wang, Wen-Ling Lee (李玟怜), Tai-Chun Liao, Heng Kuo, Wen-How Lan, Yung-Jr Hung and Yi-Jen Chiu
  • 著作人數：8
  • 作者型態：First Author / Corresponding Author
  • 會議地點：Nagoya, Japan
  • 使用語言：英文