"Demonstration of Lift-off Si-Nanomembrane by Using HF-Etchant Mixed in supercritical CO2",The 11th National Symposium on Supercritical Fluids,廈門, 中國,2016/11/04-2016/11/06 (其他)

  • 年度：2016
  • 論文類型：口頭報告 / 會議論文 / 受邀演講
  • 論文等級：其他
  • 論文名稱(篇名)：Demonstration of Lift-off Si-Nanomembrane by Using HF-Etchant Mixed in supercritical CO2
  • 會議名稱：The 11th National Symposium on Supercritical Fluids
  • 會議開始時間：2016-11-04
  • 會議結束時間：2016-11-06
  • 作者中文名：馮瑞陽
  • 作者英文名：(David) Jui-Yang, Feng
  • 全部作者：Tai-Chun Liao (廖泰鈞), Heng Kuo (郭橫), Te-Hui Wang (王德輝), Wen-Ling Lee (李玟伶), Wen-How Lan, Yi-Jen Chiu, Yung-Jr Hung and David Jui-Yang Feng*
  • 著作人數：8
  • 作者型態：Corresponding Author
  • 會議地點：廈門, 中國
  • 主辦單位：廈門大學
  • 使用語言：英文