超臨界二氧化碳改質P型矽基板及其縱深X-ray電子能譜分析

郭立文﹑馮瑞陽*﹑洪俊宏﹑邱永和,超臨界二氧化碳改質P型矽基板及其縱深X-ray電子能譜分析,第二十屆2021年超臨界流體技術應用與發展研討會,高雄,台灣,12/11,2021。