年度 2007
論文類型 會議論文 / 其他
論文等級 其他
論文名稱(篇名) Energy Dissipation in Folded-Beam MEMS Resonators Made from Single Crystal and Polycrystalline 3C-SiC Films
會議名稱 Proceedings of the 2nd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
會議開始時間 2007-01-16
會議結束時間 2007-01-19
作者中文名 張文騰
作者英文名 Wen-Teng Chang
全部作者 Wen-Teng Chang, Mehran Mehregany and Christian A. Zorman
著作人數 3
作者型態 First Author
會議地點 Bangkok, Thailand
使用語言 英文
備註 , 740–744.