發展內嵌PTFE材料之雙層槽體氣密技術開發抗HF/H2O2混合液之超臨界CO2蝕刻系統

許竣凱﹑郭立文﹑馮瑞陽*﹑許富傑﹑洪俊宏﹑郭子禎，發展內嵌PTFE材料之雙層槽體氣密技術開發抗HF/H2O2混合液之超臨界CO2蝕刻系統，第十八屆2019年超臨界流體技術應用與發展研討會，10/25 – 10/26，嘉義，台灣。

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