出版日期 2011-03-10
期刊等級 SCI
論文名稱(篇名) Clamping Losses of Folded- and Straight-Beam MEMS Resonators Made from Polycrystalline 3C-SiC Films
期刊名 International Journal of Modern Physics B
卷數 25
期數 6
起頁 885
迄頁 896
總頁數 12
作者中文名 張文騰
作者英文名 Wen-Teng Chang
全部作者 Wen-Teng Chang
著作人數 1
作者型態 First Author / Corresponding Author
ISSN(ISBN) 0217-9792
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