貴儀專區/電子顯微鏡實驗室
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貴儀名稱 |
電子顯微鏡實驗室 Scanning Electron Microscope |
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儀器說明 |
儀器購置年月：92年 5月 廠牌及型號 ：日本 HITACHI, S-4300N 重 要 規 格 ：電子光源：冷陰極場發射電子槍；加速電壓：0.5~30kv；放大倍率：20~50萬倍；解析度:1.5nm at 15kV；5.0nm at 1kV 主要附件：EDS（HORIBA EMAX-ENERGY） |
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保管人 |
施明昌老師 |
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服務項目 |
SEM：半導體金屬材料元件表面與立體結構之觀察及照相。 EDS：原子序5~92之元素全能譜定性、半定量、mapping及line profile。 （材料如不適合本機台，無法提供服務） |
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貴儀圖片 |
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