出版日期 2009-04-07
期刊等級 SCI
論文名稱(篇名) Grain size control of (111) polycrystalline 3C-SiC films by doping used as folded-beam MEMS resonators for energy dissipation
期刊名 Microsystem Technologies
卷數 Vol.15
期數 No.6
起頁 875
迄頁 880
總頁數 6
作者中文名 張文騰
作者英文名 Wen-Teng Chang
全部作者 Wenteng Chang, Christian Zorman
著作人數 2
作者型態 First Author / Corresponding Author
ISSN(ISBN) 1432-1858
參考網址 http://www.springerlink.com/content/40k5t3073r7n4826/
使用語言 英文