年度：2019
論文類型：會議論文 / 壁報論文
論文等級：其他
論文名稱(篇名)：發展內嵌PTFE材料之雙層槽體氣密技術開發抗HF/H2O2混合液之超臨界CO2蝕刻系統
會議名稱：第十八屆2019年超臨界流體技術應用與發展研討會
會議開始時間：2019-10-25
會議結束時間：2019-10-26
作者中文名：馮瑞陽
作者英文名：(David) Jui-Yang, Feng
全部作者：許竣凱﹑郭立文﹑馮瑞陽*﹑許富傑﹑洪俊宏﹑郭子禎
著作人數：6
作者型態：Corresponding Author
會議地點：嘉義, 台灣
使用語言：中文
