年度：2017
論文類型：會議論文 / 壁報論文
論文等級：其他
論文名稱(篇名)：開發抗HF/H2O2混合液之超臨界CO2系統發展矽高深寬比蝕刻製程
會議名稱：第十六屆超臨界流體技術應用與發展研討會
會議開始時間：2017-10-20
會議結束時間：2017-10-21
作者中文名：馮瑞陽
作者英文名：(David) Jui-Yang, Feng
全部作者：李玟怜﹑馮瑞陽*﹑藍文厚﹑許富傑﹑洪勇智﹑邱逸仁
著作人數：6
作者型態：Corresponding Author
會議地點：台中，台灣
使用語言：中文
