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  2. 馮瑞陽/研究計畫

106年度：精進高壓高抗腐超流體系統發展矽與三五族材料之高縱橫比類乾蝕刻製程及磊晶層剝離技術

計畫名稱：精進高壓高抗腐超流體系統發展矽與三五族材料之高縱橫比類乾蝕刻製程及磊晶層剝離技術
執行起迄：2017/08/01~2018/07/31
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