貴儀專區/微影曝光系統
|
貴儀名稱 |
微影曝光系統 Mask Aligner |
|
儀器說明 |
儀器購置年月：92 年 4 月 廠牌及型號 ：Karl Suss 重 要 規 格 ：1um解析度、接觸式或近接式曝光、2.5 吋晶圓尺寸 |
|
保管人 |
施明昌老師 |
|
服務項目 |
微影光阻曝光 |
|
貴儀圖片 |
 |
瀏覽數:
|
貴儀名稱 |
微影曝光系統 Mask Aligner |
|
儀器說明 |
儀器購置年月：92 年 4 月 廠牌及型號 ：Karl Suss 重 要 規 格 ：1um解析度、接觸式或近接式曝光、2.5 吋晶圓尺寸 |
|
保管人 |
施明昌老師 |
|
服務項目 |
微影光阻曝光 |
|
貴儀圖片 |
|