出版日期:2010-08-00
期刊等級:SCI / EI
論文名稱(篇名):External Stresses on Tensile and Compressive Contact Etching Stop Layer SOI MOSFETs
期刊名:IEEE Transactions on Electron Devices
卷數:57
期數:8
起頁:1889
迄頁:1894
總頁數:6
作者中文名:葉文冠
作者英文名:Wen-Kuan Yeh
全部作者:Wen-Teng Chang,Chih-Chung Wang(王治忠),Jian-An Lin(林建安),and Wen-Kuan Yeh
著作人數:4
作者型態:Corresponding Author
參考網址:http://ieeexplore.ieee.org/search/freesrchabstract.jsp?tp=&arnumber=5497124&queryText%3DExternal+Stresses+on+Tensile+and+Compressive+Contact+Etching+Stop+Layer+SOI+MOSFETs%26openedRefinements%3D*%26searchField%3DSearch+All
使用語言:英文