Electrical properties of DC sputtering AlN/Si capacitors with different substrate temperatures
- 年度：2006
- 論文類型：其他
- 論文等級：其他
- 論文名稱(篇名)：Electrical properties of DC sputtering AlN/Si capacitors with different substrate temperatures
- 會議名稱：International Conference on Microelectronics and Interfaces（AVS ICMI’2006）
- 會議開始時間：2006-03-07
- 會議結束時間：2006-03-09
- 作者中文名：施明昌
- 作者英文名：Ming-Chang Shih
- 全部作者：Ru-Yuan Yang, Han-Ding Hsueh, Yan-Kuin Su, Min-Hang Weng and Ming-Chang Shih
- 著作人數：5
- 作者型態：Corresponding Author
- 會議地點：Austin, Texas, U.S.A.
- 使用語言：English
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