Aln Thin Film Deposition by 248 nm Pulse Laser at Low Substrate Temperature
- 年度：2005
- 論文類型：其他
- 論文等級：其他
- 論文名稱(篇名)：Aln Thin Film Deposition by 248 nm Pulse Laser at Low Substrate Temperature
- 會議名稱：2005台灣光電科技研討會（OPT2005）
- 會議開始時間：2005-12-08
- 會議結束時間：2005-12-09
- 作者中文名：施明昌
- 作者英文名：Ming-Chang Shih
- 全部作者：M. C. Shih, Chi-Wei Liang, and W.H. Lan
- 著作人數：3
- 作者型態：First Author
- 會議地點：Taiwan
- 使用語言：English
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