年度 2014
論文類型 會議論文
論文等級 其他
論文名稱(篇名) Interface State Related to Transconductance on Channel Length of Contact Etch Stop Layer with Mechanical Stress
會議名稱 International Electron Devices and Materials Symposium
會議開始時間 2014-11-20
會議結束時間 2014-11-21
作者中文名 張文騰
作者英文名 Wen-Teng Chang
全部作者 Pin-Hung Kuo (郭品宏), Yu-Yen Ho(何俞彥), Wen-Teng Chang
著作人數 3
作者型態 Corresponding Author
會議地點 Hualien, Taiwan