"Low-Leakage Tetragonal ZrO2 (EOT < 1 nm) With In Situ Plasma Interfacial Passivation on Germanium" , IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS , 37 , 2 , pp138-141 ,2016, (SCI)

出版日期：2016-02-00

期刊等級：SCI

論文名稱(篇名)：Low-Leakage Tetragonal ZrO2 (EOT < 1 nm) With In Situ Plasma Interfacial Passivation on Germanium

期刊名：IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS

卷數：37

期數：2

起頁：138

迄頁：141

總頁數：4

作者中文名：葉文冠

作者英文名：Wen-Kuan Yeh

全部作者：Chen-Han Chou, Hao-hsuan Chang, Chung-Chun Hsu, Wen-Kuan Yeh, and Chao-Hsin Chien

著作人數：5

作者型態：Other

瀏覽數: