| 分子束晶成長系統 Molecular beam epitaxy system(MBE) |
| 頻譜分析儀 Spectrum analyzer |
| 網路分析儀 Network analyzer |
| 探針機台系統 Probe Station |
| 微影曝光系統 Mask Aligner |
| 膜厚掃瞄機 Surface Profiler |
| 電子顯微鏡實驗室 Scanning Electron Microscope |
| 電漿耦合室離子蝕刻系統 Inductive Couple Plasma Etching System |
| Pulse IV Curve-Tracer |
向量網路分析儀 (網路分析儀頻寬升級套件)
E5071C Series Network Analyzer& Update Suites |