"The Geometry Effect of Contact Etch Stop Layer Impact on Device Performance and Reliability for 90-nm SOI nMOSFETs" , IEEE Transactions on Electron Devices , 53 , 11 , pp2779-2785 ,2006, (SCI)
出版日期：2006-11-00
期刊等級：SCI
論文名稱(篇名)：The Geometry Effect of Contact Etch Stop Layer Impact on Device Performance and Reliability for 90-nm SOI nMOSFETs
期刊名：IEEE Transactions on Electron Devices
卷數：53
期數：11
起頁：2779
迄頁：2785
總頁數：7
作者中文名：葉文冠
作者英文名：Wen-Kuan Yeh
全部作者：Chieh-Ming Lai, Yean-Kuen Fang, Chien-Ting Lin, and Wen-Kuan Yeh
